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    薄膜材料与技术导论

    汤如俊编著  /  2021-08-01  /  苏州大学出版社
    ¥25.2(7.2折)定价:¥35.0

    本书较全面地介绍了有关薄膜材料制备技术的基础知识，总结了近年来薄膜材料制备领域的新进展，并融入了编著者多年来从事薄膜材料研究中所取得的成果。在第一章中，主要介绍了薄膜材料的基本概念、特征，并扼要介绍了薄膜材料的物性和结构的分析方法。第二章和第三章讲述重要的预备知识，即真空技术和等离子体技术。第四、第五章着重讨论了制备薄膜材料的物理气相沉积技术和化学气相沉积技术的基本原理和方法，包括蒸发、溅射、离子束、脉冲激光和等离子体化学气相沉积技术

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